新萊科技2,009初次參加SEMICON China以來ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ,十余年來緊密結合中國半導體產業發展特點和举世半導體產業發展趨勢❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰,持續開發了真空系統產品與氣體系統產品關鍵零部件ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ,產品包括真空管道①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯、管件☾☽❄☃、角閥❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰、門閥㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉、傳輸閥①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯,真空腔體及真空部件等❣❦❧♡۵,在氣體系統部门包含非超高純的卡套式球閥☧☬☸✡♁✙♆。,、':∶;、三片式球閥ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ、針閥ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、卸荷閥웃유ღ♋♂、過濾器等顫品☧☬☸✡♁✙♆。,、':∶;,特別在超高純UHP部门有EP管道☧☬☸✡♁✙♆。,、':∶;、管件㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦、微型管件㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂、面密封接頭「VCR」✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴、UHP隔阂閥ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、UHP調壓閥⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤、UHP波紋管閥等系列產品♀☿☼☀☁☂☄。
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IGS 隔膜閥
本體材料最高階可選316L VIM/VAR 耐腐蝕強
閥座材料可耐高溫環境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩定性
最小的粒子生成和粒子截留區域
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FSR (ALD) 隔膜閥
高速驅動⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺,超長循環壽命
電子或光學致動器位置感應選項
適用于超高純度應用❣❦❧♡۵,采用316L VIM-VAR不銹鋼閥體
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IGS 調壓閥
本體材料最高階可選316LVAR 耐腐蝕強
閥座材料可耐高溫環境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩定性
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高真空傳輸閥
半導體級⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓,超低磨耗❣❦❧♡۵,低粉成塵
維護容易㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉,維修簡易
長運行壽命
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氣動兩段式真空角閥
閥門大開度⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾,增加氣體流量
保養簡易⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤,產品壽命長
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模塊化氣體系統
采用模塊化設計웃유ღ♋♂,并集成了半兼容的表面安裝組件
隨著設備尺寸的減小⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ,安裝和維護變得更加容易